半岛平台废水分类方法

　　半岛平台废水分类方法一种废水分类方法，根据由测定动作时需要预定时间的TOC浓度计(传感器)所测定动作的TOC浓度(水质指标)将废水分类，其特征在于，在多个水槽中分别反复地进行以接收动作半岛官网、测定动作半岛登录、排出动作、循环动作及待机动作为一个周期的处理，并且使各水槽A、B、C的各周期的接收动作开始时机按照接收动作的时间长度分别错开，各周期中的测定动作从接收动作的中途开始进行。本发明能高精度且高效地将废水分类。

　　1半岛官网半岛登录、一种废水分类方法，根据由测定动作时需要预定时间的传感器所测定动 作的水质指标将废水分类，其特征在于，

　　在多个水槽中分别反复地进行以接收动作、测定动作半岛地址、排出动作、循环动 作及待机动作为一个周期的处理，并且使各水槽的各周期的接收动作开始时机 按照接收动作的时间长度分别错开。

　　3半岛平台半岛官网、如权利要求1或2所述的废水分类方法，其特征在于，各周期中的测定 动作从接收动作的中途开始进行半岛登录。

　　4、如权利要求1或2所述的废水分类方法，其特征在于半岛登录，所述多个水槽由 A、B半岛平台、C三个槽构成，在水槽A的排出动作结束后到下一个水槽B的测定动 作结束之前，使废水循环动作，并且在水槽C的接收动作结束之前待机动作。

　　5、一种废水分类装置，根据由测定动作时需要预定时间的传感器所测定动 作的水质指标将废水分类，其特征在于，

　　包含：三个水槽、针对各水槽设置的接收动作管、测定动作管及排出动作 管、设置在各管上的自动阀半岛官网、分别设置在构成封闭循环动作的所述测定动作管 与所述排出动作管上的泵半岛官网、以及根据所述传感器测定动作的水质指标控制所述 自动阀的开闭的控制装置。

　　6、如权利要求5所述的废水分类装置其特征在于半岛平台半岛平台半岛登录，将废水管和回收管与所 述排出动作管连接，并且在这些废水管与回收管上分别设置自动阀，用所述控 制装置来控制这些自动阀的开闭动作半岛地址，使废水流向废水管或回收管中的任一 方。

　　本发明涉及在由需要一定时间来进行测定动作的传感器所测定动作的水质 指标的基础上对废水进行分类的废水分类方法及装置。

　　例如在半导体制造领域，将从硅等的单晶块切片得到的晶片经过研磨处理 后予以清洗，用于清洗的清洗水则作为废水而根据其水质分类回收。

　　例如，专利文献1揭示了一种晶片清洗装置的废水分类回收装置，是将从 清洗处理槽引出的共同废水管分支成多根废水管，并在各废水管上设置自动 阀，并根据水质传感器所检测的废水的水质对上述自动阀进行开闭控制，由此 根据水质将废水分类回收半岛官网。

　　可是半岛登录，上述废水分类回收装置的前提是，用作为废水分类的判断基准的水 质指标是水质传感器瞬间检测得到的数据半岛官网，当水质指标像TOC(全有机碳)浓 度那样在测量时需要一定时间时，为了延长测定动作时间，要将废水积存。

　　本发明鉴于上述情况，其目的是要提供一种废水分类方法及装置，在由需 要一定时间来进行测定动作的传感器所测定动作的水质指标的基础上能够高 精度且高效率地将废水分类。

　　为了达成上述目的，第1方案的废水分类方法根据由测定动作时需要预定 时间的传感器所测定动作的水质指标将废水分类，其特征在于，在多个水槽中 分别反复地进行以接收动作、测定动作、排出动作、循环动作及待机动作为一 个周期的处理，并且使各水槽的各周期的接收动作开始时机按照接收动作的时 间长度分别错开。

　　第4方案是在第1、2或3方案中，所述多个水槽由A、B、C三个槽构成半岛官网， 在水槽A的排出动作结束后到下一个水槽B的测定动作结束之前，使废水循 环动作，并且在水槽C的接收动作结束之前待机动作。

　　第5方案的废水分类装置根据由测定动作时需要预定时间的传感器所测定 动作的水质指标将废水分类，其特征在于，包含：三个水槽、针对各水槽设置 的接收动作管、测定动作管及排出动作管半岛地址、设置在各管上的自动阀半岛官网、分别设置 在构成封闭循环动作的所述测定动作管与所述排出动作管上的泵、以及根据所 述传感器测定动作的水质指标控制所述自动阀的开闭的控制装置半岛平台。

　　第6方案是在第5方案中，将废水管和回收管与上述排出动作管连接，并 且在这些废水管与回收管上分别设置自动阀，用上述控制装置来控制这些自动 阀的开闭动作，使废水流向废水管或回收管中的任一方。

　　采用本发明时，当根据由测定动作时需要预定时间的传感器所测定动作的 水质指标将废水分类时，是用传感器来测定动作积存于各水槽的废水的水质指 标，并根据其测定动作结果而将水槽内的废水分类排出动作，所以能将废水高 精度地分类。

　　又由于是用多个水槽分别反复地进行以接收动作、测定动作、排出动作、 循环动作及待机动作为一个周期的处理，并且使各水槽的各周期的接收动作开 始时机分别按照接收动作的时间长度错开，因此已测定动作出水质指标的废水 就可从多个水槽依序排出动作而被分类半岛平台，在时间上不会产生很大的浪费，能有 效率地将废水分类及排出动作。